Proceedings of the Komi Science Centre of the Ural Division of the Russian Academy of Sciences Proceedings of the Komi Science Centre of the Ural Division of the Russian Academy of Sciences Известия Коми научного центра УрО РАН 1994-5655 6a84bc0894fbba14f78638f0 10.19110/1994-5655-2022-5-89-93 Без рубрики Without rubric Без рубрики Laue diffraction of X-ray beams in a multilayer structure Лауэ-дифракция рентгеновских пучков в многослойной структуре Казаков Д. В. Kazakov D. V. kazakov@ipm.komisc.ru Пунегов В. И. Punegov V. I. Физико-математический институт ФИЦ Коми НЦ УрО РАН Сыктывкар Россия Institute of Physics and Mathematics, Federal Research Centre Komi Science Centre, Ural Branch, RAS Syktyvkar Russian Federation 20 12 2022 20 12 2022 89 93 08 08 2022 © 2022 Казаков Д.В., Пунегов В.И. © 2022 Kazakov D.V., Punegov V.I. 2022 Казаков Д. В., Пунегов В. И. Kazakov D. V., Punegov V. I. https://ras.editorum.ru/en/nauka/publications/6a84bc0894fbba14f78638f0/view

Разработана теория Лауэ-дифракции рентгеновских мик- ропучков в мультислоях (МС). Получено решение для вы- числения рентгеновских карт в обратном пространстве. Показан маятниковый эффект (Pendellösung effect) для совершенного и несовершенного МС. Выполнено числен- ное моделирование Лауэ-дифракции в мультислое Mo/Si с граничными условиями в случае геометрической оптики и приближения Френеля. Показано, что при работе с рентге- новскими микропучками необходимо учитывать эффекты дифракции рентгеновских волн на краях щелей и колли- маторов исследовательской установки.

The Laue diffraction theory of X-ray microbeams in multilayers (MLs) has been developed. The solution for calculating Xray reciprocal space maps has been obtained. The pendulum (Pendellösung) effect for perfect and imperfect MLs has been demonstrated. The numerical simulation of Laue diffraction in Mo/Si multilayers with boundary conditions in the case of geometrical optics and the Fresnel approximation has been carried out. For X-ray microbeams, the scattering at the edges of collimators and slits of the diffractometer should be taken into account.

 Лауэ-дифракция рентгеновские пучки маятниковый эф- фект многослойные структуры Laue diffraction X-ray beams Pendellösung effect multilayer structures

Maser, J. Multilayer Laue lenses as high-resolution X-ray optics / J. Maser, G.B. Stephenson, S. Vogt, Y. Wenbing, A. Macrander [et al.] // Proceedings of SPIE. - 2004. - Vol. 5539. - P. 185-194. Maser, J. Multilayer Laue lenses as high-resolution X-ray optics / J. Maser, G.B. Stephenson, S. Vogt, Y. Wenbing, A. Macrander [et al.] // Proceedings of SPIE. - 2004. - Vol. 5539. - P. 185-194. Пунегов, В.И. Влияние рассогласования толщин слоев на фокусировку рентгеновских лучей многослойными Лауэ линзами / В.И. Пунегов // Письма в ЖЭТФ. - 2020. - T. 111. - № 7. - С. 448-454. Punegov, V.I. Vliyaniye rassoglasovaniya tolshchin sloyev na fokusirovku rentgenovskikh luchey mnogosloynymi Laue linzami [Effect of the mismatch of layer thicknesses on the focusing of X-rays by multilayer Laue lens] / V.I. Punegov // J. Exp. Theor. Phys. - 2020. - Vol. 111. - № 7. - P. 376-382. Kang, H.C. High-efficiency diffractive x-ray optics from sectioned multilayers / H.C. Kang, G.B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, A.T. Macrander [et al.] // Appl. Phys. Lett. - 2005. - Vol. 86. - P. 151109 (1-3). Kang, H.C. High-efficiency diffractive x-ray optics from sectioned multilayers / H.C. Kang, G.B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, A.T. Macrander [et al.] // Appl. Phys. Lett. - 2005. - Vol. 86. - P. 151109 (1-3). Punegov, V.I. X-ray microbeam diffraction in a crystal / V.I. Punegov, A.V. Karpov // Acta Crystallogr. A. - 2021. - Vol. 77. - P. 117-125. Punegov, V.I. X-ray microbeam diffraction in a crystal / V.I. Punegov, A.V. Karpov // Acta Crystallogr. A. - 2021. - Vol. 77. - P. 117-125. Punegov, V.I. Applications of dynamical theory of X-ray diffraction by perfect crystals to reciprocal space map ping / V.I. Punegov, K.M. Pavlov, A.V. Karpov, N.N. Faleev // J. Appl. Crystallogr. - 2017. - Vol. 50. - P. 1256-1266. Punegov, V.I. Applications of dynamical theory of X-ray diffraction by perfect crystals to reciprocal space map ping / V.I. Punegov, K.M. Pavlov, A.V. Karpov, N.N. Faleev // J. Appl. Crystallogr. - 2017. - Vol. 50. - P. 1256-1266. Пунегов, В.И. Высокоразрешающая рентгеновская дифракция в кристаллических структурах с квантовыми точками / V.I. Punegov // УФН. - 2015. - Т. 185. - № 5. - С. 449-478. Punegov, V.I. Vysokorazreshayushchaya rentgenovskaya difraktsiya v kristallicheskikh strukturakh s kvantovymi tochkami [High-resolution X-ray diffraction in crystalline structures with quantum dots] / V.I. Punegov // Uspekhi fizicheskikh nauk [Advances in Physical Sciences]. - 2015. - Vol. 58. - P. 419-445. Iida, A. Separate measurements of dynamical and kinematical X-ray diffractions from silicon crystals with a triple crystal diffractometer / A. Iida, K. Kohra, A.V. Karpov, N.N. Faleev // Physica Status Solidi (A). - 1979. - Vol. 51. - P. 533-542. Iida, A. Separate measurements of dynamical and kinematical X-ray diffractions from silicon crystals with a triple crystal diffractometer / A. Iida, K. Kohra, A.V. Karpov, N.N. Faleev // Physica Status Solidi (A). - 1979. - Vol. 51. - P. 533-542. Kohn, V.G. Theory of imaging a perfect crystal under the conditions of X-ray spherical wave dynamical diffraction / V.G. Kohn, I. Snigireva, A. Snigirev, N.N. Faleev // Physica Status Solidi (B). - 2000. - Vol. 222. - P. 407-423. Kohn, V.G. Theory of imaging a perfect crystal under the conditions of X-ray spherical wave dynamical diffraction / V.G. Kohn, I. Snigireva, A. Snigirev, N.N. Faleev // Physica Status Solidi (B). - 2000. - Vol. 222. - P. 407-423. Stepanov, S. Fitting dynamical X-ray diffraction data over the World Wide Web / S. Stepanov, R. Forrest // J. Appl. Crystallogr. - 2008. - Vol. 41. - P. 958-962. Stepanov, S. Fitting dynamical X-ray diffraction data over the World Wide Web / S. Stepanov, R. Forrest // J. Appl. Crystallogr. - 2008. - Vol. 41. - P. 958-962. Пунегов, В.И. Влияние дефектов структуры на угловое распределение рентгеновской Лауэ-дифракции в тонком кристалле / В.И. Пунегов, К.М. Павлов // Письма в ЖТФ. - 1992. - Т. 18. - № 12. - С. 60-64. Punegov, V.I. Vliyaniye defektov struktury na uglovoye raspredeleniye rentgenovskoy Laue-difraktsii v tonkom kristalle [Effect of structural defects on the angular distribution of x-ray Laue diffraction in a thin crystal] / V.I. Punegov, K.M. Pavlov // Pis’ma v ZhTF [Soviet technical physics letters]. - 1992. - Vol. 18. - № 6. - P. 390-391.